名稱：銅材料用表面處理液、銅材料的表面處理方法、帶表面處理被膜的銅材料和層合構(gòu)件

公開(公告)號(hào)：CN101400826

公開(公告)日：2009.04.01

主分類號(hào)：C23C22/34(2006.01)I

申請(qǐng)(專利權(quán))人：日本帕卡瀨精株式會(huì)社

地址：日本東京都

發(fā)明(設(shè)計(jì))人：宮崎雅矢;林洋樹;村上邦佳

國際申請(qǐng)：2007-03-15PCT/JP2007/055255

國際公布：2007-09-20WO2007/105800日

進(jìn)入國家日期：2008.09.12

專利代理機(jī)構(gòu)：中國專利代理(香港)有限公司

代理人：熊玉蘭;李平英

摘要

提供銅材料用表面處理液、表面處理方法、及采用該方法在銅材料表面形成的表面處理被膜。銅材料用表面處理液，其特征在于，含有：銅的氧化蝕刻劑、包含選自Ti、Zr、Hf及Si中的至少一種金屬元素的化合物和作為HF供給源的含氟化合物；表面處理方法，其特征在于，將銅和銅合金原材料浸漬到上述處理液中；表面處理被膜，其特征在于，所述被膜是采用上述表面處理方法在銅及銅合金上形成的，含有選自Ti、Zr、Hf及Si中的至少一種金屬元素、Cu、O和F；層合構(gòu)件，其特征在于，含有表面處理被膜的銅原材料和樹脂層介由表面處理被膜相接合。